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TECHNICAL ARTICLES顯微分光膜厚儀是結合顯微鏡與分光光度技術的高精度薄膜厚度測量儀器
2025-09-03 顯微分光膜厚儀是一種基于光的干涉和分光原理的高精度測量儀器,主要用于非破壞性、非接觸地測量薄膜、晶片、光學材料及多層膜的厚度,并分析其光學常數(如折射率、消光系數)。通過顯微光譜法測量微小區域的光譜反射率,當光線在薄膜前后表面多次反射形成干涉條紋時,分光技術將干涉條紋分解為不同波長的光譜,并測量其強度分布,通過算法計算膜厚及光學參數。顯微分光膜厚儀通過光的干涉與分光原理實現非破壞性、非接觸式測量。當光線照射到薄膜表面時,在薄膜前后表面多次反射形成干涉條紋,分光技術將這些條紋分...公司郵箱: qgao@buybm.com
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