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產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚分光輻射照度測(cè)量系統(tǒng)
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該檢測(cè)器 是一種高性能的分光光度計(jì) ，在光源測(cè)量、反射/透射測(cè)量、過(guò)程測(cè)量等 方面取得 了 多項(xiàng)成果 。 覆蓋從紫外線到可見(jiàn)光和可見(jiàn)光到紅外線的寬波長(zhǎng)范圍
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該檢測(cè)器
是一種高性能的分光光度計(jì)，在光源測(cè)量、反射/透射測(cè)量、過(guò)程測(cè)量等方面取得了多項(xiàng)成果。
覆蓋從紫外線到可見(jiàn)光和可見(jiàn)光到紅外線的寬波長(zhǎng)范圍
帶軟件的樣品照明電源，測(cè)量?jī)x器批量控制
LIV測(cè)量，脈沖點(diǎn)測(cè)量，樣品溫控測(cè)量
設(shè)備校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)燈由我們自己的部門(mén)提供，并由 JCSS 校準(zhǔn)公司注冊(cè)。
照度、輻照度
光譜數(shù)據(jù)（光譜輻照度）
其他測(cè)量項(xiàng)目
三刺激值 XYZ、色度坐標(biāo) xy、uv、
u’v’相關(guān)色溫、Duv、主波長(zhǎng)、刺激純度 顯
色指數(shù) Ra、R1 至 R15
峰值波長(zhǎng)、半寬
光子通量密度 PFD、光合光子磁通密度PPFD
半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量
玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量
實(shí)時(shí)測(cè)量
流向品質(zhì)管理
真空室適用
實(shí)時(shí)測(cè)量
寬度方向品質(zhì)管理
超硬涂層的膜厚解析
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