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深能級瞬態(tài)譜儀(DLTS)是檢測半導體材料和器件缺陷和雜質的最好技術手段，它可以測定各種深能級相關參數(shù)，如深能級，俘獲界面，濃度分布等。
更新時間：2025-11-09
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