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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測(cè)試
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深能級(jí)瞬態(tài)譜儀(DLTS)是檢測(cè)半導(dǎo)體材料和器件缺陷和雜質(zhì)的最好技術(shù)手段，它可以測(cè)定各種深能級(jí)相關(guān)參數(shù)，如深能級(jí)，俘獲界面，濃度分布等。
更新時(shí)間：2025-11-09
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對(duì)小體積樣品材料力學(xué)性質(zhì)進(jìn)行定量化測(cè)試的關(guān)鍵技術(shù)。
更新時(shí)間：2025-11-09產(chǎn)品型號(hào)：瀏覽量：1127
拉曼光譜用來(lái)測(cè)試材料應(yīng)力，摻雜濃度和sheet& pattem等。從散射光的能量轉(zhuǎn)移，強(qiáng)度和偏振等方面可以獲取樣品豐富信息,如:結(jié)晶取向，組分，機(jī)械應(yīng)力，摻雜和溫度變化等。
更新時(shí)間：2025-11-09產(chǎn)品型號(hào)：瀏覽量：1103
原子力顯微鏡使用非常小的探針，掃描樣品表面，在原子尺度探測(cè)樣品形貌。Semilab的AFM設(shè)備，可靈活配置和測(cè)試，具備優(yōu)異測(cè)試穩(wěn)定性和可靠性。
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iSR是一種微光斑測(cè)試技術(shù)，用于實(shí)時(shí)刻蝕和Halftone工藝中的厚度測(cè)試
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